技術(shù)編號(hào)：2796755
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及在半導(dǎo)體裝置的制造過程中，對(duì)形成設(shè)置在抗蝕劑膜與基 板之間的抗蝕劑下層膜有用的組合物。在抗蝕劑下層膜在制造半導(dǎo)體裝置 時(shí)的光刻中顯示抑制入射波反射所產(chǎn)生的反射波的效果的情況下，將該抗 蝕劑下層膜稱為防反射膜。背景技術(shù)近年來，人們合成了對(duì)有機(jī)溶劑的溶解度高于C60富勒烯的富勒烯衍 生物。通過使用這樣的富勒烯衍生物溶解在有機(jī)溶劑中而成的溶液，能夠容易地在基板上形成薄膜。因此，人們研究了將富勒烯衍生物應(yīng)用于n型 有機(jī)薄膜晶體管、太陽(yáng)能電池等中。富勒烯衍...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。