技術(shù)編號(hào)：2794737
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造，具體地，涉及一種應(yīng)用于半導(dǎo)體光刻裝置的單倍放大倍率大視場(chǎng)投影物鏡。背景技術(shù)目前在半導(dǎo)體或液晶平板(FPDs)加工領(lǐng)域，單個(gè)純透射系統(tǒng)的最大視場(chǎng)，受高均勻性的玻璃材料尺寸的限制很難做大，折返射或全反射系統(tǒng)在這方面的優(yōu)勢(shì)凸現(xiàn)出來。而且多個(gè)此類折返射或全反射鏡頭的拼接組合，就可以實(shí)現(xiàn)更大的曝光視場(chǎng)。美國專利US2004/0263429A1介紹了 一種平板顯示(FPDs)用投影物鏡，主要由一片反射主鏡(可分為兩部分)，一片反射次鏡構(gòu)成。專利的...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。