專利名稱：一種大視場投影物鏡的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，具體地，涉及一種應(yīng)用于半導(dǎo)體光刻裝置的單倍放大倍率大視場投影物鏡。
背景技術(shù)：
目前在半導(dǎo)體或液晶平板(FPDs)加工領(lǐng)域，單個純透射系統(tǒng)的最大視場，受高均勻性的玻璃材料尺寸的限制很難做大，折返射或全反射系統(tǒng)在這方面的優(yōu)勢凸現(xiàn)出來。而且多個此類折返射或全反射鏡頭的拼接組合，就可以實現(xiàn)更大的曝光視場。美國專利US2004/0263429A1介紹了 一種平板顯示(FPDs)用投影物鏡，主要由一片反射主鏡(可分為兩部分)，一片反射次鏡構(gòu)成。專利的一個實施例中還包含兩塊玻璃平板，可以形成環(huán)狀視場高度大于550mm，寬度大于10mm，放大倍率為-1倍，且其中大部分光焦度由兩片反射鏡承擔(dān)，其加工的難度主要體現(xiàn)在大尺寸反射主鏡上，使用這種結(jié)構(gòu)反射主鏡的口徑要接近環(huán)狀視場高度的3倍，即使反射主鏡分為兩部分制造，其口徑也達(dá)到環(huán)狀視場高度的1. 5倍左右。上述背景專利視場的增大僅僅依賴于反射鏡尺寸的增大，即受加工制造能力的限制較大。而且隨著物面尺寸的不斷增大，物面自身的重力變形不可忽視，必須加以校正。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種投影物鏡設(shè)計，降低對單個反射鏡尺寸的需求，消除物面重力變形的影響，同時獲得更大的曝光視場。本發(fā)明一種大視場投影物鏡，其特征在于投影物鏡光學(xué)系統(tǒng)沿物面依次包括由第一凹面反射鏡和第一凸面反射鏡組成的第一折返光路，一前透鏡組，一中間像面，一后透鏡組，以及由第二凸面反射鏡和第二凹面反射鏡組成的第二折返光路。其中，所述投影物鏡光學(xué)系統(tǒng)整體放大倍率為+1倍。較優(yōu)地，所述前透鏡組和后透鏡組相對所述中間像面對稱設(shè)置，至少包含一個正透鏡，一個負(fù)透鏡。其中，所述前、后透鏡組中的正透鏡使用高色散材料，負(fù)透鏡使用低色散材料，所述高色散材料的阿貝數(shù)小于45的材料，所述低色散材料的阿貝數(shù)大于65的材料。其中，通過改變所述前、后透鏡組中正負(fù)透鏡的間隔改變光學(xué)系統(tǒng)的放大倍率。其中，所述凹面反射鏡的口徑大于凸面反射鏡的口徑。其中，所述投影物鏡形成視場的長邊與短邊的比小于10。其中，所述光學(xué)系統(tǒng)中光學(xué)元件為共軸設(shè)置，或不共軸設(shè)置。本發(fā)明實現(xiàn)了正Ix放大倍率設(shè)計，滿足了多個鏡頭成像視場的拼接需求。同時降低了對單個反射鏡尺寸的需求，獲得更大的曝光視場。


關(guān)于本發(fā)明的優(yōu)點與精神可以通過以下的發(fā)明詳述及所附圖式得到進(jìn)一步的了解。圖I為本發(fā)明投影物鏡第一實施例光學(xué)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖；圖2為本發(fā)明投影物鏡第二實施例光學(xué)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖；圖3為本發(fā)明投影物鏡第三實施例光學(xué)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖。
具體實施例方式下面結(jié)合附圖詳細(xì)說明本發(fā)明的具體實施例。
實施例I本發(fā)明投影物鏡第一實施例光學(xué)系統(tǒng)10結(jié)構(gòu)如圖I所示。在這個實施例中，物面及像面與光路在同一個軸向上。光學(xué)系統(tǒng)10的各參數(shù)要求如表I所示。表I
權(quán)利要求
1.一種大視場投影物鏡，其特征在于投影物鏡光學(xué)系統(tǒng)沿物面依次包括由第一凹面反射鏡和第一凸面反射鏡組成的第一折返光路，一前透鏡組，一中間像面，一后透鏡組，以及由第二凸面反射鏡和第二凹面反射鏡組成的第二折返光路。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的大視場投影物鏡，其特征在于所述投影物鏡光學(xué)系統(tǒng)整體放大倍率為+1倍。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的大視場投影物鏡，其特征在于所述前透鏡組和后透鏡組相對所述中間像面對稱設(shè)置，至少包含一個正透鏡，一個負(fù)透鏡。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的大視場投影物鏡，其特征在于所述前、后透鏡組中的正透鏡使用高色散材料，負(fù)透鏡使用低色散材料，所述高色散材料的阿貝數(shù)小于45的材料，所述低色散材料的阿貝數(shù)大于65的材料。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的大視場投影物鏡，其特征在于通過改變所述前、后透鏡組中正負(fù)透鏡的間隔改變光學(xué)系統(tǒng)的放大倍率。
6.根據(jù)權(quán)利要求I所述的大視場投影物鏡，其特征在于所述凹面反射鏡的口徑大于凸面反射鏡的口徑。
7.根據(jù)權(quán)利要求I所述的大視場投影物鏡，其特征在于所述投影物鏡形成視場的長邊與短邊的比小于10。
8.根據(jù)權(quán)利要求I所述的大視場投影物鏡，其特征在于所述光學(xué)系統(tǒng)中光學(xué)元件為共軸設(shè)置，或不共軸設(shè)置。
全文摘要
本發(fā)明一種大視場投影物鏡，其特征在于投影物鏡光學(xué)系統(tǒng)沿物面依次包括由第一凹面反射鏡和第一凸面反射鏡組成的第一折返光路，一前透鏡組，一中間像面，一后透鏡組，以及由第二凸面反射鏡和第二凹面反射鏡組成的第二折返光路。本發(fā)明實現(xiàn)了正1x放大倍率設(shè)計，滿足了多個鏡頭成像視場的拼接需求。同時降低了對單個反射鏡尺寸的需求，獲得更大的曝光視場。
文檔編號G02B13/00GK102981255SQ20111026406
公開日2013年3月20日 申請日期2011年9月7日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月7日
發(fā)明者武珩, 黃玲 申請人:上海微電子裝備有限公司