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具有輕度摻雜漏極區(qū)的薄膜晶體管結(jié)構(gòu)及其制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:2793259

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本發(fā)明涉及一種薄膜晶體管結(jié)構(gòu)及其制造方法,尤其涉及應(yīng)用于平面顯示器上具輕度摻雜漏極區(qū)域的薄膜晶體管結(jié)構(gòu)及其制造方法。背景技術(shù) 請參見圖1(a)和1(b),其是一薄膜晶體管液晶顯示器的功能方塊示意圖,其主要由兩個部分所組成,第一部分是一有源矩陣10,而第二部分則為一驅(qū)動電路11。而在傳統(tǒng)的非晶硅工藝中,有源矩陣10獨立完成于一玻璃襯底1之上,而驅(qū)動電路11必須另外以一個或多個集成電路的形式來完成后,再通過外部線路12來與有源矩陣10進行連接(如圖1(a)所示...
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