技術(shù)編號：2790108
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明關(guān)于可應(yīng)用于曝光機中的一種光罩座，尤其是一種具有轉(zhuǎn)換套件可自由組裝于固定件的光罩座。背景技術(shù) 黃光制作工藝(Lithography)是一種用來將光罩上的電路圖案轉(zhuǎn)移至光阻層，以在基板上定義出特定光阻圖案的圖案轉(zhuǎn)移技術(shù)，一般被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體或LCD及PDP等平面顯示器的制作工藝中，用以制備蝕刻屏蔽或者是離子布植屏蔽。而掃描式曝光機(scan exposure apparatus)即為目前黃光制作工藝常用的曝光機。在進行曝光制作工藝時，掃描式曝光機的光...
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