技術(shù)編號：2788760
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明系關(guān)于基板搬送裝置、基板搬送方法、基板支承構(gòu)件、基板保持裝置、曝光裝置、曝光方法及元件制造方法，詳言之，系關(guān)于進(jìn)行將基板搬入及搬出基板保持裝置的基板搬送裝置及基板搬送方法、以及在基板搬送時(shí)支承該基板的基板支承構(gòu)件、具有保持被搬送的基板的保持構(gòu)件的基板保持裝置、包含前述基板搬送裝置或前述基板保持裝置的曝光裝置、使用基板支承構(gòu)件搬送基板的曝光方法及使用前述曝光方法或曝光裝置的元件制造方法。背景技術(shù)一直以來，于制造液晶顯示元件、半導(dǎo)體元件(積體電路等)等電...
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