技術(shù)編號(hào)：2785831
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造系統(tǒng)，特別涉及可謀求提高設(shè)計(jì)、制造和檢查精度及提高生產(chǎn)率的半導(dǎo)體制造系統(tǒng)。背景技術(shù) 在某工具將處理結(jié)果輸出給符合標(biāo)準(zhǔn)格式的文件時(shí)，當(dāng)別的工具的輸入格式不符合所述標(biāo)準(zhǔn)格式時(shí)，必須進(jìn)行將所述符合標(biāo)準(zhǔn)格式的輸出文件變換為所述別的輸入格式的作業(yè)。例如，在非專利文獻(xiàn)1的180頁Fig10-1中，示出了以下內(nèi)容即某工具將處理結(jié)果輸出給符合標(biāo)準(zhǔn)格式的文件，并將該輸出輸入給別的工具，通過將其反復(fù)輸出給與所述標(biāo)準(zhǔn)格式不同的別的符合格式的文件，以得到所希望...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。