技術(shù)編號(hào)：2781723
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及掃描曝光設(shè)備的掃描曝光方法以及使用該掃描曝光設(shè)備的裝置制造方法，尤其涉及適于曝光大掩膜的曝光設(shè)備。背景技術(shù) 近期的顯示器，如個(gè)人計(jì)算機(jī)(“PC”)的顯示器和電視機(jī)的顯示器，經(jīng)常使用液晶顯示(“LCD”)基片。LCD基片使用光刻法在玻璃板片上形成預(yù)定形狀的帶有圖形的透明薄膜電極，并且光刻法使用投影曝光設(shè)備，用于將形成于掩膜上的原始圖形通過投影光學(xué)系統(tǒng)，曝光在玻璃板片的光刻膠層上。投影光學(xué)設(shè)備包括那類所謂的“分步重復(fù)”及鏡面投影方式。隨著近期對(duì)大LC...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。