技術(shù)編號：2778599
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及自動設(shè)計裝置，尤其涉及采用斜布線的自動設(shè)計裝置、自動設(shè)計方法以及可用其制造的中間掩模組(reticle set)、半導(dǎo)體集成電路。背景技術(shù) 隨著半導(dǎo)體集成電路微細化的進展，在硅襯底上按設(shè)計加工半導(dǎo)體器件越來越難。因此，想各種辦法用于按設(shè)計加工，同時還從提高成品率和可靠性的角度采取各種措施。制作使用0.2μm以下的微細圖案布線的集成電路器件的掩模時，廣泛應(yīng)用圖案疏密帶來的鄰光效應(yīng)校正(OPC)。對處在圖案稀疏區(qū)的“孤立布線圖案”擴大中間掩模的布線圖...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。