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聚酰胺樹脂、正型感光性樹脂組合物、圖案狀樹脂膜的制造方法、半導(dǎo)體裝置和顯示元件 ...的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:2775907

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本發(fā)明涉及聚酰胺樹脂、正型感光性樹脂組合物、采用該組合物的圖案狀樹脂膜的制造方法、采用該組合物的半導(dǎo)體裝置及顯示元件、以及該半導(dǎo)體裝置及顯示元件的制造方法。背景技術(shù) 此前,在半導(dǎo)體元件的表面保護膜、層間絕緣膜中采用具有優(yōu)良的耐熱性、卓越的電學(xué)特性、機械特性等的聚苯并噁唑樹脂或聚酰亞胺樹脂。另一方面,為了簡化工藝,也可以使用這些聚苯并噁唑樹脂或聚酰亞胺樹脂與感光性重氮醌化合物組合成的正型感光性樹脂(例如,參照特公平1-46862號公報)。近幾年來,隨著半導(dǎo)體...
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