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光學(xué)投影系統(tǒng)中的薄膜驅(qū)動式反射鏡陣列及其制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:2768051

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本發(fā)明涉及光學(xué)投影系統(tǒng)中的一種薄膜驅(qū)動式反射鏡陣列及其制造方法,而且,尤其涉及用于防止由于由入射光造成的泄漏光電流而產(chǎn)生的驅(qū)動器誤操作的光學(xué)投影系統(tǒng)中的薄膜驅(qū)動的反射鏡陣列,及制造這種陣列的方法。一般說來,光調(diào)制器按照其光學(xué)特性被劃分為兩種,一種類型是象陰極射線管(CRT)這類的直射式光調(diào)制器,而另一種類型是象液晶顯示器(LCD)這類的透射式光調(diào)制器。CRT可在屏幕上產(chǎn)生高品質(zhì)的圖像,但是,CRT的重量,體積以及制造成本按照屏幕的放大倍率而增加。LCD具有...
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