技術(shù)編號：2761226
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種適于半導(dǎo)體元件的表面保護膜、層間絕緣膜等的受紫外線曝光的部位溶解于堿性水溶液中的正型感光性聚酰亞胺母體組合物。背景技術(shù) 作為曝光部分經(jīng)顯影而溶解的正型耐熱性樹脂母體組合物，已知有在聚酰胺酸中添加萘醌二疊氮基的組合物(特開昭52-13315號公報)、在具有羥基的可溶性聚酰亞胺中添加萘醌二疊氮基的組合物(特開昭64-60630號公報)、在具有羥基的聚酰胺中添加萘醌二疊氮基的組合物(特開昭56-27140號公報)等。但是，在通常的聚酰胺酸中添加萘醌...
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