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光學(xué)元件、光學(xué)元件的制造方法、涂布裝置及涂布方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:2760889

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本發(fā)明是關(guān)于樹脂制的光學(xué)元件的制造方法。背景技術(shù) 作為以簡單的制造方法能夠制造光學(xué)特性優(yōu)良的光波導(dǎo)等的光學(xué)元件的材料,聚酰亞胺系樹脂正受到注意。聚酰亞胺系樹脂,由于玻璃化轉(zhuǎn)變溫度(Tg)高、耐熱性優(yōu)良,因此制成的光學(xué)元件能夠期待具有長期的可靠性。而且雖然是樹脂制的,但也能夠耐軟釬焊。特別是含氟的聚酰亞胺系樹脂,與不含氟的聚酰亞胺系樹脂相比,具有光的透過性高、折射率低等特征,因此作為光學(xué)元件的材料是優(yōu)良的。但是,含氟的聚酰亞胺系樹脂,對作為光學(xué)元件的基片使用...
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