技術(shù)編號：2755090
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及使掩膜緊貼內(nèi)層基板并進行曝光的工序中使用的內(nèi)層基板用曝光裝 置以及該曝光裝置中的基板和掩膜的剝離方法。背景技術(shù)內(nèi)層基板用曝光裝置以下述的方式構(gòu)成，S卩，在組裝到曝光平臺上的曝光掩膜保 持板上設(shè)定一個曝光掩膜，并且在組裝到配置在其上方的上框上的曝光掩膜保持板上設(shè)定 另一個曝光掩膜，將基板配置在兩個曝光掩膜之間，由配置在曝光掩膜保持板的下方以及 上框的上方的UV照射裝置同時對基板的表里進行曝光。簡單說明該內(nèi)層基板用曝光裝置的以往的曝光工序，在投入輸送...
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