技術(shù)編號(hào):2754008
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明總體上涉及平版印刷系統(tǒng),更具體而言涉及用于在將有用物傳送到晶片或 標(biāo)線片載物臺(tái)時(shí)使這種載物臺(tái)的物理破壞和污染最小化的技術(shù)。背景技術(shù)平版印刷系統(tǒng)用于通過(guò)將半導(dǎo)體晶片暴露于特殊的光圖案下來(lái)制造半導(dǎo)體器件。 這通常由穿過(guò)標(biāo)線片圖案而投影在晶片上的閃光來(lái)實(shí)現(xiàn)。標(biāo)線片支撐在標(biāo)線片載物臺(tái)中, 該載物臺(tái)繼而由框架支撐。該標(biāo)線片載物臺(tái)以可相對(duì)于框架從而相對(duì)于晶片精確移動(dòng)的方 式被支撐。該標(biāo)線片載物臺(tái)可通過(guò)例如致動(dòng)器等機(jī)械裝置支撐,或通過(guò)采用氣壓或電磁力 的無(wú)阻尼技術(shù)...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。