技術編號：2753528
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種感放射線性樹脂組合物。更詳細地說，本發(fā)明涉及一種對于使用各種放射線的微細加工有用的、適宜用作化學增幅型抗蝕劑的感放射線性樹脂組合物，其中所說的放射線包括例如KrF準分子激光、ArF準分子激光等的遠紫外線、電子線等的帶電粒子線、同步加速器放射線等的X射線等。背景技術 在以集成電路元件的制備為代表的微細加工領域中，為了得到更高的集成度，最近需求一種能夠以0.20μm以下水平進行微細加工的平版印刷技術。然而，在以往的平版印刷術工藝中，作為放射線一般...
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