技術(shù)編號:2753158
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及在平面面板制造過程中用于在基板上涂漿或滴下液晶的涂漿裝置及 涂漿方法。背景技術(shù)作為以往的涂漿裝置的基板保持機構(gòu),提出有這樣的構(gòu)成的基板保持機構(gòu),該基 板保持機構(gòu)在該裝置的支承臺上設(shè)有X軸臺,在該X軸臺上設(shè)有能夠在X軸方向移動的Y 軸臺,在該Y軸臺上設(shè)有能夠在Y軸方向移動且能夠轉(zhuǎn)動(即在θ軸方向移動)的θ軸 臺,另外,在該θ軸臺上設(shè)有吸附固定基板的吸附臺(例如參照專利文獻1)。在記載于該專利文獻1的技術(shù)中,吸附在吸附臺的基板由Χ、Υ軸臺、Θ軸臺調(diào)整...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。