技術(shù)編號：2752866
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。包括用于沉浸式光刻裝置的傳送區(qū)的環(huán)境系統(tǒng)本分案申請是基于申請?zhí)枮?004800096738，申請日為2004年4月1日，發(fā)明名稱 為“包括用于沉浸式光刻裝置的傳送區(qū)的環(huán)境系統(tǒng)”的中國專利申請的分案申請。相關(guān)專利申請本申請要求獲得如下專利申請的優(yōu)先權(quán)，即臨時(shí)專利申請系列No. 60/462，112， 其于2003年4月10日提出申請，題目為“用于沉浸式光刻的真空環(huán)系統(tǒng)和燈芯環(huán)系 統(tǒng)”(VACUUM RING SYSTEM ANDffICK RING SYST...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。