技術編號：2752053
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種EUV微光刻的照明光學系統(tǒng)，其用于將來自輻射源的照明光束導引到物場，具有至少一個具有反射面的EUV反射鏡，并且為了導引照明光束而該EUV反射鏡具有非平面反射鏡的形貌。本發(fā)明還涉及用于這種照明光學系統(tǒng)的EUV衰減器、具有這種照明光學系統(tǒng)的照明系統(tǒng)以及具有這種照明系統(tǒng)的投射曝光裝置。最后，本發(fā)明涉及一種微結構或者納結構部件的制造方法以及利用這種方法制造的部件。背景技術從US 2007/0041004 AUUS 6，445，510 Bl 以及 US...
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