技術(shù)編號(hào)：2752051
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及微可動(dòng)元件陣列及通信設(shè)備，所述微可動(dòng)元件陣列包含多個(gè)具有微小的可動(dòng)部的例如微鏡元件、角速度傳感器、加速度傳感器等微可動(dòng)元件。背景技術(shù)近年來，在各種中，正在努力實(shí)現(xiàn)對(duì)具有通過MEMS(micro electro mechanical systems，微機(jī)電系統(tǒng))技術(shù)形成的微小結(jié)構(gòu)的元件的應(yīng)用。在這樣的元件中， 含有例如微鏡元件、角速度傳感器、加速度傳感器等具有微小的可動(dòng)部的微可動(dòng)元件。微鏡元件在例如光通信技術(shù)或光盤技術(shù)的領(lǐng)域中被用作承擔(dān)光反射功能的...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。