技術編號：2750155
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及影印法的微型器件制作。特別地，本發(fā)明涉及一種用作電路中的持久電介質的感光組合物。已有技術的描述對本領域的技術人員來說，生產(chǎn)如美國專利號3，666，473、4，115，128和4，173，470所公開的正性光刻膠組合物是公知的。這些組合物包括不溶于水的堿溶水狀樹脂和感光材料。其經(jīng)涂覆的底層部分一受到光化輻射成影像曝光，感光劑就還原成堿溶解的感光劑，涂層的曝光區(qū)域因此就比未曝光的區(qū)域更易溶解。在把底層浸入堿性顯影液中時，溶解速率的不同使光刻膠涂層的曝...
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