技術(shù)編號:2750126
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明是關(guān)于電特性、熱特性、機械特性及物理特性優(yōu)良的聚苯并噁唑樹脂,適宜作半導(dǎo)體用的層間絕緣膜、保護膜、多層線路的層間絕緣膜、彈性銅板的保護層、焊料保護膜、液晶定向膜等。在半導(dǎo)體材料中,根據(jù)所需要的特性,在各個部分可使用無機系材料、有機系材料等各種材料。例如,作為半導(dǎo)體用的層間絕緣膜,可使用以化學(xué)氣相法等制作的二氧化硅等無機絕緣膜。然而,近年來伴隨著半導(dǎo)體的高功能化、高性能化,因為二氧化硅等無機絕緣膜存在介電常數(shù)高、脆弱、吸水率高等問題,難以適用。作為對它...
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