技術(shù)編號(hào)：2750031
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及芯片掃描設(shè)備技術(shù)，特別是涉及一種五自由度鏡頭調(diào)整裝置。 背景技術(shù)芯片例如LED芯片的分揀是芯片產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)過程中的一個(gè)關(guān)鍵環(huán)節(jié)，它為后續(xù)的工藝過程提供了必要的數(shù)據(jù)參數(shù)。芯片分揀通常是這樣進(jìn)行的芯片位于供給平臺(tái)Wafer 表面，掃描系統(tǒng)位于供給平臺(tái)Wafer上部，通過掃描系統(tǒng)掃描出的芯片的圖像，再根據(jù)掃描 結(jié)果對(duì)芯片進(jìn)行分揀。因此，影響芯片分揀成敗的關(guān)鍵取決于掃描系統(tǒng)對(duì)芯片位置的準(zhǔn)確 定位?，F(xiàn)有技術(shù)中，掃描鏡頭的調(diào)節(jié)多是采用三維調(diào)整機(jī)構(gòu)，對(duì)掃描鏡頭的...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。