技術(shù)編號：2748244
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及一種曝光裝置，尤其涉及一種LCD的曝光裝置。 背景技術(shù)曝光就是在涂好光刻膠的玻璃表面覆蓋掩模版，通常紫外光是行選擇性照 射；使受光部分的光刻膠發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，改變這一部分膠在顯影液中的溶解度。 因而顯影后，光刻月交膜顯現(xiàn)出與掩模版上一致的圖案。其中曝光時間和曝光光 強選擇是根據(jù)版的質(zhì)量、光刻膠的性質(zhì)、光源強弱和光源到納米銦錫金屬氧化 物(IT0 )玻璃的距離來衡量。在現(xiàn)有技術(shù)中，平行光曝光的光學(xué)系統(tǒng)下，采用菲林作為掩^t版，細線產(chǎn) 品尤其是17...
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