技術(shù)編號：2743311
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明是關(guān)于一種薄膜晶體管元件、用于定義薄膜晶體管元件的光掩膜 及薄膜晶體管元件的制作方法，尤指一種可提升薄膜晶體管元件的通道長度極限的光掩膜、 一種具有短通道長度的薄膜晶體管元件及其制作方法。 背景技術(shù)在、薄月莫晶體管、液晶顯示面板(thin film transistor liquid crystal display panel, TFT-LCDpand)內(nèi)，薄膜晶體管元件是作為控制各像素電極的開關(guān)元件之用。 當(dāng)液晶顯示面板的尺寸與解析度有所提升時，像...
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