技術(shù)編號：2738084
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及壓印平版印刷術(shù)(imprintlithography ),尤其涉及 具有用來將壓印基片與模具分離的改進方法和設(shè)備的壓印平版印刷 術(shù)。背景技術(shù)平版印刷術(shù)是半導(dǎo)體集成電路和多種光學(xué)、磁性、生物、及微機 械裝置制造中的關(guān)鍵工藝。平版印刷術(shù)在基片支持的可模塑膜上創(chuàng)建 圖案，從而能夠在后續(xù)工藝步驟中將圖案復(fù)制到基片中或加在基片上 的另一材料中。常規(guī)平版印刷術(shù)被稱作光刻(photolithography)，包括將光敏 抗蝕劑薄膜涂敷到基片上、將抗蝕劑爆光于希...
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