技術(shù)編號：2736949
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。微影投射設(shè)備、氣體洗滌方法、裝置制造方法及洗滌氣體的供應(yīng)系統(tǒng)本申請案主張2006年4月3日提出申請的美國專利申請案第11/396,823 號的利益，且為此美國申請案的連續(xù)案；本申請案主張2003年7月21日提出 申請的美國專利申請案第10/623,180號的利益，且為此美國申請案的部分連續(xù) 申請案；且本申請案主張2004年7月21日提出申請的國際專利申請案第 PCT/US2004/023490號的利益，且為該國際申請案的部分連續(xù)申請案；且本申 請案主張20...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲(chǔ)備，不適合論文引用。