技術(shù)編號(hào)：2736617
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。 本發(fā)明涉及一種曝光方法、曝光裝置、光罩及光罩的制造方法，特別是涉及一種使用為了利用微影制程來(lái)制造液晶顯示元件等平板顯示元件等微型元件的曝光裝置的曝光方法、藉由該曝光方法進(jìn)行曝光的曝光裝置、該曝光方法中所使用的光罩以及該光罩的制造方法。 背景技術(shù) 例如，在制造半導(dǎo)體元件或液晶顯示元件等時(shí)，使用有將屏蔽(標(biāo)線片reticle、光罩photomask等)的圖案經(jīng)由投影光學(xué)系統(tǒng)而投影至涂布有光阻劑的平板(玻璃平板或半導(dǎo)體晶圓等)上的投影曝光裝置。先前，大多使...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。