技術(shù)編號:2733534
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于化學(xué)増幅型正性光刻膠領(lǐng)域,特別是涉及ー種具有大的雙光子吸收截面的可用于化學(xué)増幅型正性光刻膠的敏化劑、及其在制備化學(xué)増幅型正性光刻膠中的應(yīng)用。 背景技術(shù)雙光子加工技術(shù),具有對材料穿透性強,空間分辨率高的優(yōu)點,在三維超精細(xì)微加エ領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用前景。而相應(yīng)光刻膠的制備是雙光子加工技術(shù)發(fā)展的關(guān)鍵內(nèi)容。目前,應(yīng)用于雙光子加工研究的材料主要是1)商用的負(fù)性光刻膠,如日本合成橡膠株式會社的自由基聚合型光刻膠SCR500,美國MicroChem公司的陽離子聚...
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