技術(shù)編號(hào)：2732743
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種電光調(diào)制器，特別涉及到SOI襯底標(biāo)準(zhǔn)CMOS工藝 高速電光調(diào)制器。背景技術(shù)集成電路的集成度按照摩爾定律每兩年翻一番的速度飛速向前發(fā) 展，晶體管尺寸和互連線尺寸同步縮小使芯片集成度越來越高，費(fèi)用越 來越低。雖然隨著集成度的提高，單個(gè)晶體管的延時(shí)越來越小，然而互 連線的延時(shí)卻越來越大。這是因?yàn)榛ミB線尺寸的減小使互連線電阻增加， 雖然目前采用銅互連代替以前的鋁互連能在一定程度上減小電阻和互連 線的電遷移率問題，然而當(dāng)互連線尺寸進(jìn)一步減小時(shí)，銅互連仍...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。