技術(shù)編號：2731978
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種集成電路的設(shè)計，特別涉及一種應(yīng)用于集成電路領(lǐng)域的 電路結(jié)構(gòu)，以及用以定義此電路結(jié)構(gòu)的光掩模，其圖案的光學(xué)近接修正較為答易。背景技術(shù)現(xiàn)今半導(dǎo)體工藝常以狗骨(dog-bone)狀圖案作為導(dǎo)線的拾取(pickup)區(qū) 域的光掩模圖案。請參照圖1，此設(shè)計中導(dǎo)線圖案110的拾取墊(pickuppad) 圖案120的位置介于密集區(qū)12與孤立區(qū)14之間，圖案密度差異性大，故其 光學(xué)鄰近效應(yīng)較不易控制，使其光學(xué)鄰近修正(Optical Proximity C...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。