專利名稱：電路結(jié)構(gòu)及用以定義此電路結(jié)構(gòu)的光掩模的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種集成電路的設(shè)計(jì)，特別涉及一種應(yīng)用于集成電路領(lǐng)域的 電路結(jié)構(gòu)，以及用以定義此電路結(jié)構(gòu)的光掩模，其圖案的光學(xué)近接修正較為答易。
背景技術(shù)：
現(xiàn)今半導(dǎo)體工藝常以狗骨(dog-bone)狀圖案作為導(dǎo)線的拾取(pickup)區(qū) 域的光掩模圖案。請(qǐng)參照?qǐng)D1，此設(shè)計(jì)中導(dǎo)線圖案110的拾取墊(pickuppad) 圖案120的位置介于密集區(qū)12與孤立區(qū)14之間，圖案密度差異性大，故其 光學(xué)鄰近效應(yīng)較不易控制，使其光學(xué)鄰近修正(Optical Proximity Correction, OPC)時(shí)的復(fù)雜度較高，如圖2所示者，其中標(biāo)號(hào)210、 220者分別為導(dǎo)線圖 案、拾取墊圖案。因此，其光學(xué)近接修正常需通過(guò)電腦輔助，以達(dá)到優(yōu)選的 修正效果。隨著半導(dǎo)體光刻工藝線寬微縮，光學(xué)鄰近效應(yīng)因光刻技術(shù)世代演進(jìn)(如 曝光光源波長(zhǎng)縮小，數(shù)值孔徑加大等)而更加顯著。狗骨狀設(shè)計(jì)的難度將因 此而更形提高，也不利于得到足夠的工藝窗口 (process window)。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的就是在提供一種包含導(dǎo)線及拾取墊的電路結(jié)構(gòu)，其光掩模 圖案的光學(xué)近接修正較已知者容易進(jìn)行。本發(fā)明的再一 目的是提供一種光掩模，其可用以定義本發(fā)明的電路結(jié) 構(gòu)。此光掩模上的導(dǎo)線圖案及拾取墊定義用圖案的光學(xué)近接修正較已知者容易進(jìn)行。本發(fā)明的電路結(jié)構(gòu)包括多條并列的導(dǎo)線以及多個(gè)拾取墊。其中部分的導(dǎo) 線各自配置有一個(gè)拾取墊，任一條配置拾取墊導(dǎo)線的拾取墊連接此導(dǎo)線及其 同 一側(cè)的至少一條導(dǎo)線，且任二拾取墊所共同連接的導(dǎo)線在此二拾取墊間斷開(kāi)。
在一實(shí)施例中，任一配置拾取墊導(dǎo)線的拾取墊連接此導(dǎo)線及其同一側(cè)的 一條導(dǎo)線。在另一實(shí)施例中，任一配置拾取墊導(dǎo)線的拾取墊連接此導(dǎo)線及其 同一側(cè)的二條導(dǎo)線。本發(fā)明的光掩模是用以定義上述電路結(jié)構(gòu)者，包括多個(gè)并列的導(dǎo)線圖案 以及多個(gè)拾取墊定義用圖案。其中部分的導(dǎo)線圖案各自配置有一個(gè)拾取墊定 義用圖案，任一個(gè)配置拾取墊定義用圖案的導(dǎo)線圖案的拾取墊定義用圖案連 接在此導(dǎo)線圖案及其同 一側(cè)的至少一條導(dǎo)線圖案之間，且任二相鄰拾取墊定 義用圖案所共同連接的導(dǎo)線圖案在此二拾取墊定義用圖案之間斷開(kāi)。在一實(shí)施例中，任一個(gè)配置拾取墊定義用圖案的導(dǎo)線圖案的拾取墊定義 用圖案連接在此導(dǎo)線圖案及其同一側(cè)的一條導(dǎo)線圖案之間。在另一實(shí)施例 中，任一個(gè)配置拾取墊定義用圖案的導(dǎo)線圖案的拾取墊定義用圖案連接在此 導(dǎo)線圖案及其同 一側(cè)的二條導(dǎo)線圖案之間。在一些實(shí)施例中，特別是線寬較小的情況下，上述導(dǎo)線圖案與拾取墊定 義用圖案須再經(jīng)過(guò)光學(xué)近接修正。此光學(xué)近接修正可為比較簡(jiǎn)單的對(duì)稱型態(tài) 的光學(xué)近接修正。與連接在二導(dǎo)線圖案之間的 一 個(gè)拾取墊定義用圖案相關(guān)的光學(xué)近接修 正可舉例如下。例一包括使此二導(dǎo)線圖案各自的與此拾取墊定義用圖案連接的部分的邊界向內(nèi)縮。例二包括使此拾取墊定義用圖案在導(dǎo)線圖案延伸方向上的尺寸縮小，且不與此二導(dǎo)線圖案相連；使此二導(dǎo)線圖案的分別位于此拾取墊定義用圖案兩 側(cè)的二個(gè)部分的二內(nèi)側(cè)邊界各自向內(nèi)縮，二外側(cè)邊界各自向外凸；并使位于 此二導(dǎo)線圖案外側(cè)的另二導(dǎo)線圖案的分別位于此拾取墊定義用圖案兩側(cè)的 二個(gè)部分的二內(nèi)側(cè)邊界各自向內(nèi)縮。例三包括在導(dǎo)線圖案延伸方向上將此拾取墊定義用圖案及此二導(dǎo)線圖 案截?cái)鄶?shù)處，以將此拾取墊定義用圖案及此二導(dǎo)線圖案一并分割成在該延伸 方向上對(duì)稱的數(shù)個(gè)部分圖案。例四包括在此拾取墊定義用圖案中配置沿導(dǎo)線圖案延伸方向排列的數(shù) 個(gè)開(kāi)口 ，以將此拾取墊定義用圖案分割成在該延伸方向上對(duì)稱的數(shù)個(gè)部分圖 案；并使此二導(dǎo)線圖案外側(cè)的另二導(dǎo)線圖案的對(duì)應(yīng)此拾取墊定義用圖案的二 個(gè)部分的二內(nèi)側(cè)邊界各自向內(nèi)縮。與連接在三導(dǎo)線圖案之間的一個(gè)拾取墊定義用圖案相關(guān)的光學(xué)近接修 正可舉例如下。例一包括使此三導(dǎo)線圖案中位于外側(cè)的二導(dǎo)線圖案各自的與 此拾取墊定義用圖案連接的部分的邊界向內(nèi)縮。此三導(dǎo)線圖案包括依序排列 的第一 三導(dǎo)線圖案，其中位于外側(cè)者即第一、三導(dǎo)線圖案。例二包括使此拾取墊定義用圖案在導(dǎo)線圖案延伸方向上的尺寸縮小，且不與第一、三導(dǎo)線圖案相連；將第二導(dǎo)線圖案截?cái)喽帲纬蓛刹糠职鼕A 拾取墊定義用圖案的狀態(tài)；使第一、三導(dǎo)線圖案的分位于拾取墊定義用圖案 兩側(cè)的二個(gè)部分的二內(nèi)側(cè)邊界各自向內(nèi)縮，二外側(cè)邊界各自向外凸；使分位 于第一、三導(dǎo)線圖案外側(cè)的第四、五導(dǎo)線圖案的分別在拾取墊定義用圖案兩 側(cè)的二個(gè)部分的二內(nèi)側(cè)邊界各自向內(nèi)縮；并使分別位于第四、五導(dǎo)線圖案外 側(cè)的第六、七導(dǎo)線圖案的分別在拾取墊定義用圖案兩側(cè)的二個(gè)部分的二內(nèi)側(cè) 邊界各自向內(nèi)縮，二外側(cè)邊界亦各自向內(nèi)縮。例三包括在導(dǎo)線圖案延伸方向上將此拾取墊定義用圖案及此三導(dǎo)線圖 案截?cái)鄶?shù)處，以將此拾取墊定義用圖案及三導(dǎo)線圖案一并分割成在該延伸方 向上對(duì)稱的數(shù)個(gè)部分圖案；并使這些部分圖案中最外側(cè)的兩個(gè)部分圖案其各 自在大致垂直該延伸方向的方向上的二個(gè)邊界向內(nèi)縮。例四包括在此拾取墊定義用圖案及位于三導(dǎo)線圖案中間的第二導(dǎo)線圖 案中配置沿導(dǎo)線圖案延伸方向排列的數(shù)個(gè)開(kāi)口 ，以將拾取墊定義用圖案及第 二導(dǎo)線圖案分割成在該延伸方向上對(duì)稱的數(shù)個(gè)部分圖案；并使第一、三導(dǎo)線 圖案外側(cè)的第四、五導(dǎo)線圖案的對(duì)應(yīng)拾取墊定義用圖案的二個(gè)部分的二內(nèi)側(cè) 邊界各自向內(nèi)縮。如上所述，本發(fā)明是在密集區(qū)里形成與對(duì)應(yīng)的導(dǎo)線圖案及其同側(cè)至少一 個(gè)導(dǎo)線圖案連通的拾取墊定義用圖案(下文稱此圖案設(shè)計(jì)為H形設(shè)計(jì)；拾取 墊連通相鄰二導(dǎo)線而形成者稱為(單)H形，連通相鄰三導(dǎo)線而形成者稱為雙 H形，依此類推)，并在適當(dāng)位置截?cái)鄬?dǎo)線圖案，以使相鄰的導(dǎo)線主體(即實(shí) 際作為元件的導(dǎo)線的部分)不致連通。以此方法所得的圖案設(shè)計(jì)中拾取墊周 遭的圖案密度近似于密集區(qū)，其光學(xué)鄰近效應(yīng)較已知狗骨狀設(shè)計(jì)容易控制； 且因H形圖案的對(duì)稱性佳，因此光學(xué)鄰近修正較易于實(shí)行。通過(guò)電腦模擬軟 件與實(shí)驗(yàn)的驗(yàn)證，在相同光刻工藝條件下，H形拾取圖案設(shè)計(jì)能獲得比狗骨 狀設(shè)計(jì)更大的工藝窗口。為讓本發(fā)明之上述和其他目的、特征和優(yōu)點(diǎn)更明顯易懂，下文特舉優(yōu)選 實(shí)施例并配合所附圖示，詳細(xì)說(shuō)明如下。


圖1為已知狗骨狀設(shè)計(jì)的配置拾取墊圖案的多條導(dǎo)線圖案的結(jié)構(gòu)。圖2為已知狗骨狀設(shè)計(jì)的拾取墊圖案及其附近的導(dǎo)線圖案經(jīng)過(guò)光學(xué)近接修正后的結(jié)果。圖3A 3B分別繪示本發(fā)明二實(shí)施例的配置拾取墊圖案的多條導(dǎo)線圖案 的結(jié)構(gòu)及其設(shè)計(jì)過(guò)程。圖4A 4D分別繪示用以形成本發(fā)明的H形導(dǎo)線/拾取墊結(jié)構(gòu)的光掩模圖 案的光學(xué)近接修正的四個(gè)例子，以及其各自所形成的H形結(jié)構(gòu)的電子顯微鏡 照片。圖5A 5D分別繪示用以形成本發(fā)明的雙H形導(dǎo)線/拾取墊結(jié)構(gòu)的光掩模 圖案的光學(xué)近接^f奮正的四個(gè)例子，以及其各自所形成的雙H形結(jié)構(gòu)的電子顯微鏡照片。附圖標(biāo)記說(shuō)明12、 14:圖案密集區(qū)、圖案稀疏區(qū)110、 210、 310、 410(a/b)、 510(a/b/c/d/e/f/g):導(dǎo)線圖案120、 220、 320a、 320b:拾取墊圖案330a: H形結(jié)構(gòu)330b:雙H形結(jié)構(gòu)340:斷開(kāi)處412、 416、 512、 518:拾取墊定義用圖案414、 418、 420、 422、 432、 514、 516、 520、 522、 524、 526、 528、 530、 532、 534、 536、 538、 548、 550:導(dǎo)線圖案的邊界424、 426、 428、 430、 540、 542、 544、 546:部分圖案具體實(shí)施方式
圖3A 3B分別繪示本發(fā)明二實(shí)施例的配置拾取墊圖案的多條導(dǎo)線圖案 的結(jié)構(gòu)及其設(shè)計(jì)過(guò)程。請(qǐng)參照?qǐng)D3A,此圖案設(shè)計(jì)是先定出多條并列的導(dǎo)線圖案310,其包括須 配置拾取墊的導(dǎo)線的光掩模圖案，以及作為假圖案(dummy pattern)而不須配
置拾取墊圖案的線狀圖案，其即圖中最右側(cè)的3條線狀圖案，功能是造成對(duì) 稱的圖案配置環(huán)境，以使光學(xué)進(jìn)接修正較容易進(jìn)行。接著，在須配置拾取墊的各導(dǎo)線的圖案上配置一個(gè)拾取墊圖案320a或 320b。任一個(gè)拾取墊圖案320a除連接對(duì)應(yīng)的導(dǎo)線圖案310外，尚連接其同 一側(cè)的另一個(gè)導(dǎo)線圖案310，而形成H形結(jié)構(gòu)330a。任一個(gè)拾取墊圖案320b 除連接對(duì)應(yīng)的導(dǎo)線圖案310外，尚連接其同側(cè)的二導(dǎo)線圖案，而形成雙H形 結(jié)構(gòu)330b。接著，將任二相鄰拾取墊圖案320a-320a、 320a-320b或320b-320b (未繪 示)所共同連接的一或二條導(dǎo)線在該二拾取墊之間截?cái)?，而形成斷開(kāi)處340,跨^線二拾取藝而電性連接?！?、'、、 '； 、 、請(qǐng)參照?qǐng)D3B，此例與前例不同之處在于，每一條配置拾取墊圖案的導(dǎo) 線圖案310的拾取墊320a/b皆連接此導(dǎo)線圖案310及其同 一側(cè)固定數(shù)目的導(dǎo) 線圖案310。圖3B左邊的是每條配置拾取墊圖案的導(dǎo)線圖案310的拾取墊 圖案320a皆連接此導(dǎo)線圖案310及其同側(cè)的一條導(dǎo)線圖案310,而形成H 形結(jié)構(gòu)330a,且任二相鄰拾取墊圖案320a所共同連接的一條導(dǎo)線圖案310 在此二拾取墊圖案320a間斷開(kāi)。圖3B右邊的是每條配置拾取墊圖案的導(dǎo)線 圖案310的拾取墊320b皆連接此導(dǎo)線圖案310及其同一側(cè)的二條導(dǎo)線圖案 310,而形成雙H形結(jié)構(gòu)330b，且任二相鄰拾取墊圖案320b所共同連接的 二導(dǎo)線圖案310各自在此二拾取墊圖案320b之間斷開(kāi)。依此類推，當(dāng)任二相鄰拾取墊圖案中每一者皆連接對(duì)應(yīng)的導(dǎo)線圖案及其 同 一側(cè)的n個(gè)(r^ 1 )導(dǎo)線圖案時(shí)，此二拾取墊圖案所共同連接的導(dǎo)線圖案即有 n個(gè)，其各自在此二拾取墊圖案之間被截?cái)唷Ｕ?qǐng)?jiān)賲⒄請(qǐng)D3A 3B,當(dāng)工藝線寬足夠大時(shí)，使用圖示的光掩模圖案會(huì)定 義出形狀近似的電路結(jié)構(gòu)，包括對(duì)應(yīng)310的多條并列的導(dǎo)線與對(duì)應(yīng)320a/b 的多個(gè)拾取墊，其中部分導(dǎo)線各自配置有一個(gè)拾取墊，任一條配置拾取墊的 導(dǎo)線的拾取墊連接此導(dǎo)線及其同側(cè)的一條導(dǎo)線(如320a的情形)或二條導(dǎo)線 (如320b的情形)，而形成對(duì)應(yīng)330a的H形結(jié)構(gòu)或?qū)?yīng)330b的雙H形結(jié)構(gòu)。 同時(shí)，對(duì)應(yīng)320a-320a、 320b- 320b或320a-320b的任二拾取墊所共同連接的 導(dǎo)線(對(duì)應(yīng)310)在此二拾取墊之間;故截?cái)?。然而，?dāng)線寬較小時(shí)，上述導(dǎo)線圖案310與拾取墊定義用圖案320a/b
即須經(jīng)過(guò)光學(xué)近接修正。相較于狗骨狀結(jié)構(gòu)，此種H形結(jié)構(gòu)的對(duì)稱性佳，周 圍環(huán)境圖案密度較一致，因此光學(xué)近接修正可采用對(duì)稱型態(tài)的光學(xué)近接修 正，而比較容易實(shí)行。發(fā)明人由電腦模擬得知，此種H形結(jié)構(gòu)只要以手動(dòng)修正(Manual OPC)就可以得到不錯(cuò)的效果，而不一定要借助于電腦輔助修正。詳言之，通過(guò)截?cái)唷⒉糠滞诳张c/或其他圖案修正手法修改H形圖案在 光掩模上的設(shè)計(jì)圖案，即可使H形圖案的成像在焦距/曝光的適當(dāng)條件以及 一定程度的變動(dòng)條件的下均能合于規(guī)范，而可確保足夠的工藝窗口 。圖4A 4D分別繪示用以形成本發(fā)明的H形結(jié)構(gòu)(一個(gè)拾取墊連接二條導(dǎo) 線)的光掩模圖案的光學(xué)近接修正的四個(gè)例子，以及其各自所定義出的H形 結(jié)構(gòu)的電子顯微鏡照片。請(qǐng)參照?qǐng)D4A,此例的拾取墊定義用圖案412仍連接在導(dǎo)線圖案410中 對(duì)應(yīng)的二導(dǎo)線圖案410a之間，而此二導(dǎo)線圖案410a各自的與此拾取墊定義 用圖案412連接的部分的邊界414向內(nèi)縮。此OPC圖案的中間部分的圖案 轉(zhuǎn)移結(jié)果如右小圖所示。以下圖4B 4D、 5A 5D皆采用此種表現(xiàn)方式，其 例的導(dǎo)線線寬及曝光光源波長(zhǎng)亦與此例相同。請(qǐng)參照?qǐng)D4B,此例的拾取墊定義用圖案416在導(dǎo)線圖案410延伸方向 上的尺寸縮小，且不與對(duì)應(yīng)的二導(dǎo)線圖案410a相連。二導(dǎo)線圖案410a的分 別位于拾取墊定義用圖案416兩側(cè)的二個(gè)部分的二內(nèi)側(cè)邊界418各自向內(nèi) 縮，二外側(cè)邊界420各自向外凸。又，位于二導(dǎo)線圖案410a外側(cè)的另二導(dǎo) 線圖案410b的分別位于拾取墊定義用圖案416兩側(cè)的二個(gè)部分的二內(nèi)側(cè)邊 界422各自向內(nèi)縮。請(qǐng)參照?qǐng)D4C,此例是在導(dǎo)線圖案410延伸方向上將拾取墊定義用圖案 及對(duì)應(yīng)的二導(dǎo)線圖案410a截?cái)鄶?shù)處，以將此拾取墊定義用圖案及此二導(dǎo)線 圖案410a—并分割成在該延伸方向上對(duì)稱的數(shù)個(gè)部分圖案424、 426、 428, 其中部分圖案428位于部分圖案424及428之間。請(qǐng)參照?qǐng)D4D，此例是在拾取墊定義用圖案中配置沿導(dǎo)線圖案410延伸 方向排列的數(shù)個(gè)開(kāi)口 ，以將此拾取墊定義用圖案分割成在該延伸方向上對(duì)稱 的數(shù)個(gè)部分圖案430;并使對(duì)應(yīng)的二導(dǎo)線圖案41 Oa外側(cè)的另二導(dǎo)線圖案41 Ob 的對(duì)應(yīng)此拾取墊定義用圖案的二個(gè)部分的二內(nèi)側(cè)邊界432各自向內(nèi)縮。圖5A 5D分別繪示用以形成本發(fā)明的雙H形結(jié)構(gòu)的光掩模圖案的光學(xué) 近接修正的四個(gè)例子，以及其各自所定義出的H形結(jié)構(gòu)的電子顯微鏡照片。
請(qǐng)參照?qǐng)D5A,此例是使導(dǎo)線圖案510中對(duì)應(yīng)的三導(dǎo)線圖案510a、 510b、 510c中位于外側(cè)的二導(dǎo)線圖案510a、 510c各自的與拾取墊定義用圖案512 連接的部分的邊界514、 516向內(nèi)縮。請(qǐng)參照?qǐng)D5B,此例是使拾取墊定義用圖案518在導(dǎo)線圖案510延伸方 向上的尺寸縮小，且不與對(duì)應(yīng)的三導(dǎo)線圖案510a、 510b、 510c中位于外側(cè) 的導(dǎo)線圖案510a、 510c相連。位于中間的導(dǎo)線圖案510b斷開(kāi)二處，而形成 兩部分包夾拾取墊定義用圖案518的狀態(tài)。導(dǎo)線圖案510a、 510c的分別位 于拾取墊定義用圖案518兩側(cè)的二個(gè)部分的二內(nèi)側(cè)邊界520、 522各自向內(nèi) 縮，二外側(cè)邊界524、 526各自向外凸。分別位于導(dǎo)線圖案510a、 510c外側(cè) 的另二導(dǎo)線圖案510d、 510e的分別在拾取墊定義用圖案518兩側(cè)的二個(gè)部 分的二內(nèi)側(cè)邊界528、 530各自向內(nèi)縮。分別位于導(dǎo)線圖案510d、 510e外側(cè) 的導(dǎo)線圖案510f、 510g的分別在拾取墊定義用圖案518兩側(cè)的二個(gè)部分的 二內(nèi)側(cè)邊界532、 534各自向內(nèi)縮，二外側(cè)邊界536、 538亦各自向內(nèi)縮。請(qǐng)參照?qǐng)D5C，此例是在導(dǎo)線圖案510延伸方向上將拾取墊定義用圖案 及對(duì)應(yīng)的三導(dǎo)線圖案510a、 510b、 510c截?cái)鄶?shù)處，以將此拾取墊定義用圖 案及三導(dǎo)線圖案510a、 510b、 510c —并分割成在該延伸方向上對(duì)稱的數(shù)個(gè) 部分圖案540、 542、 544，其中544位于540與542之間，且最外側(cè)的兩部 分圖案540、 542其各自在大致垂直該延伸方向的方向上的二個(gè)邊界向內(nèi)縮。請(qǐng)參照?qǐng)D5D,此例是在拾取墊定義用圖案以及對(duì)應(yīng)的三導(dǎo)線圖案510a、 510b、 510c中的中間導(dǎo)線圖案510b中，配置沿導(dǎo)線圖案510延伸方向排列 的數(shù)個(gè)開(kāi)口，以將拾取墊定義用圖案及中間導(dǎo)線圖案510b分割成在該延伸 方向上對(duì)稱的數(shù)個(gè)部分圖案546。導(dǎo)線圖案510a、 510c外側(cè)的二導(dǎo)線圖案 510d、 510e的對(duì)應(yīng)此拾取墊定義用圖案的兩部分的二內(nèi)側(cè)邊界548、 550各 自向內(nèi)縮。由圖4A 4D及5A 5D各自的右側(cè)的電子顯微鏡照片可知，以上各例皆 可以定義出理想的單或雙H形結(jié)構(gòu)。此外，同樣的修正手法基本上當(dāng)亦可套 用于三或更多重H形結(jié)構(gòu)的光學(xué)近修正上。雖然本發(fā)明已以優(yōu)選實(shí)施例^C露如上，然其并非用以限定本發(fā)明，任何 本領(lǐng)域的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作些許的更動(dòng)與 潤(rùn)飾，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍當(dāng)視所附的權(quán)利要求所界定者為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1. 一種電路結(jié)構(gòu)，包括多條并列的導(dǎo)線以及多個(gè)拾取墊，其中，部分的這些導(dǎo)線各自配置有一個(gè)拾取墊；任一條配置拾取墊的導(dǎo)線的該拾取墊連接該導(dǎo)線及其同一側(cè)的至少一條導(dǎo)線；并且任二相鄰拾取墊所共同連接的導(dǎo)線在該二拾取墊之間斷開(kāi)。
2. 如權(quán)利要求1所述的電路結(jié)構(gòu)，其中任一條配置拾取墊的導(dǎo)線的該拾 取墊連接該導(dǎo)線及該導(dǎo)線同 一側(cè)的 一條導(dǎo)線。
3. 如權(quán)利要求1所述的電路結(jié)構(gòu)，其中任一條配置拾取墊的導(dǎo)線的該拾 取墊連接該導(dǎo)線及該導(dǎo)線同 一側(cè)的二條導(dǎo)線。
4. 一種光掩模，其上有多個(gè)并列的導(dǎo)線圖案以及多個(gè)拾取墊定義用圖案，^巾部分的這些導(dǎo)線圖案各自配置有一個(gè)拾取墊定義用圖案； 任一個(gè)配置拾取墊定義用圖案的導(dǎo)線圖案的該拾取墊定義用圖案連接在該導(dǎo)線圖案及其同 一側(cè)的至少一個(gè)導(dǎo)線圖案之間；并且任二相鄰拾取墊定義用圖案所共同連接的導(dǎo)線圖案在該二拾取墊定義用圖案之間斷開(kāi)。
5. 如權(quán)利要求4所述的光掩模，其中任一個(gè)配置拾取墊定義用圖案的導(dǎo) 線圖案的該拾取墊定義用圖案連接在該導(dǎo)線恩案及其同一側(cè)的一個(gè)導(dǎo)線圖 案之間。
6. 如權(quán)利要求4所述的光掩模，其中任一個(gè)配置拾取墊定義用圖案的導(dǎo) 線圖案的該拾取墊定義用圖案連接在該導(dǎo)線圖案及其同 一側(cè)的二導(dǎo)線圖案之間。
7. 如權(quán)利要求4所述的光掩模，其中這些導(dǎo)線圖案與這些拾取墊定義用 圖案再經(jīng)過(guò)光學(xué)近接修正。
8. 如權(quán)利要求7所述的光掩模，其中該光學(xué)近接修正為對(duì)稱型態(tài)的光學(xué) 近接々務(wù)正。
9. 如權(quán)利要求8所述的光掩模，其中與連接在二導(dǎo)線圖案之間的一個(gè)拾 取墊定義用圖案相關(guān)的光學(xué)近接修正包括使該二導(dǎo)線圖案各自的與該拾取 墊定義用圖案連接的部分的邊界向內(nèi)縮。
10. 如權(quán)利要求8所述的光掩模，其中與連接在二導(dǎo)線圖案之間的一個(gè)拾 取墊定義用圖案相關(guān)的光學(xué)近接修正包括使該拾取墊定義用圖案在這些導(dǎo)線圖案的延伸方向上的尺寸縮小，且不 與該二導(dǎo)線圖案相連；使該二導(dǎo)線圖案的分別位于該拾取墊定義用圖案兩側(cè)的二個(gè)部分的二內(nèi)側(cè)邊界各自向內(nèi)縮，二外側(cè)邊界各自向外凸；以及使位于該二導(dǎo)線圖案外側(cè)的另二導(dǎo)線圖案的分別位于該拾取墊定義用 圖案兩側(cè)的二個(gè)部分的二內(nèi)側(cè)邊界各自向內(nèi)縮。
11. 如權(quán)利要求8所述的光掩模，其中與連接在二導(dǎo)線圖案之間的一個(gè)拾 取墊定義用圖案相關(guān)的光學(xué)近接修正包括在這些導(dǎo)線圖案的延伸方向上將 該拾取墊定義用圖案及該二導(dǎo)線圖案截?cái)鄶?shù)處，以將該拾取墊定義用圖案及 該二導(dǎo)線圖案 一 并分割成在該延伸方向上對(duì)稱的數(shù)個(gè)部分圖案。
12. 如權(quán)利要求8所述的光掩模，其中與連接在二導(dǎo)線圖案之間的一個(gè)拾 取墊定義用圖案相關(guān)的光學(xué)近接修正包括在該拾取墊定義用圖案中配置沿這些導(dǎo)線圖案的延伸方向排列的數(shù)個(gè) 開(kāi)口 ，以將該拾取墊定義用圖案分割成在該延伸方向上對(duì)稱的數(shù)個(gè)部分圖 案；以及使該二導(dǎo)線圖案外側(cè)的另二導(dǎo)線圖案的對(duì)應(yīng)該拾取墊定義用圖案的二 個(gè)部分的二內(nèi)側(cè)邊界各自向內(nèi)縮。
13. 如權(quán)利要求8所述的光掩模，其中與連接在三導(dǎo)線圖案之間的一個(gè)拾 取墊定義用圖案相關(guān)的光學(xué)近接修正包括使該三導(dǎo)線圖案中位于外側(cè)的二 導(dǎo)線圖案各自的與該拾取墊定義用圖案連接的部分的邊界向內(nèi)縮。
14. 如權(quán)利要求8所述的光掩模，其中與連接在三導(dǎo)線圖案之間的一個(gè)拾 取墊定義用圖案相關(guān)的光學(xué)近接修正包括使該拾取墊定義用圖案在這些導(dǎo)線圖案的延伸方向上的尺寸縮小，且不 與該三導(dǎo)線圖案中位于外側(cè)的兩導(dǎo)線圖案相連，其中該三導(dǎo)線圖案為依序排 列的第一、二、三導(dǎo)線圖案，位于外側(cè)的兩導(dǎo)線圖案即該第一、三導(dǎo)線圖案；將該第二導(dǎo)線圖案截?cái)喽?，而形成兩部分包夾該才合取墊定義用圖案的 狀態(tài)；使該第一、三導(dǎo)線圖案的分別位于該拾取墊定義用圖案兩側(cè)的二個(gè)部分 的二內(nèi)側(cè)邊界各自向內(nèi)縮，二外側(cè)邊界各自向外凸； 使分別位于該第一、三導(dǎo)線圖案外側(cè)的第四、五導(dǎo)線圖案的分別在該拾取墊定義用圖案兩側(cè)的二個(gè)部分的二內(nèi)側(cè)邊界各自向內(nèi)縮；以及使分別位于該第四、五導(dǎo)線圖案外側(cè)的第六、七導(dǎo)線圖案的分別在該拾 取墊定義用圖案兩側(cè)的二個(gè)部分的二內(nèi)側(cè)邊界各自向內(nèi)縮，二外側(cè)邊界亦各 自向內(nèi)縮。
15. 如權(quán)利要求8所述的光掩模，其中與連接在三導(dǎo)線圖案之間的一個(gè)拾 取墊定義用圖案相關(guān)的光學(xué)近接修正包括在這些導(dǎo)線圖案的延伸方向上將該拾取墊定義用圖案及該三導(dǎo)線圖案 截?cái)鄶?shù)處，以將該拾取墊定義用圖案及該三導(dǎo)線圖案一并分割成在該延伸方 向上對(duì)稱的數(shù)個(gè)部分圖案；以及使這些部分圖案中最外側(cè)的兩個(gè)部分圖案其各自在大致垂直該延伸方 向的方向上的二個(gè)邊界向內(nèi)縮。
16. 如權(quán)利要求8所述的光掩模，其中與連接在三導(dǎo)線圖案之間的一個(gè)拾 取墊定義用圖案相關(guān)的光學(xué)近接修正包括在該拾取墊定義用圖案及該三條導(dǎo)線圖案中的一中間導(dǎo)線圖案中，配置 沿這些導(dǎo)線圖案的延伸方向排列的數(shù)個(gè)開(kāi)口 ，以將該拾取墊定義用圖案及該 中間導(dǎo)線圖案分割成在該延伸方向上對(duì)稱的數(shù)個(gè)部分圖案；以及使該三導(dǎo)線圖案外側(cè)的另二導(dǎo)線圖案的對(duì)應(yīng)該拾取墊定義用圖案的二 個(gè)部分的二內(nèi)側(cè)邊界各自向內(nèi)縮。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種電路結(jié)構(gòu)及用以定義此電路結(jié)構(gòu)的光掩模。此電路結(jié)構(gòu)包括多個(gè)拾取墊與多條并列的導(dǎo)線，其中，部分的導(dǎo)線各自配置有一個(gè)拾取墊，任一條配置拾取墊的導(dǎo)線的拾取墊連接此導(dǎo)線及其同側(cè)的至少一條導(dǎo)線，且任二相鄰拾取墊所共同連接的導(dǎo)線在此二拾取墊之間斷開(kāi)。本發(fā)明的光掩模上有用以定義上述導(dǎo)線的多個(gè)導(dǎo)線圖案，以及用以定義上述拾取墊的多個(gè)拾取墊定義用圖案。
文檔編號(hào)G03F1/36GK101399244SQ20071016177
公開(kāi)日2009年4月1日 申請(qǐng)日期2007年9月26日 優(yōu)先權(quán)日2007年9月26日
發(fā)明者張宜翔, 蕭立東 申請(qǐng)人:力晶半導(dǎo)體股份有限公司