技術(shù)編號：2730917
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及在以規(guī)定的角度傾斜的立起狀態(tài)下搬運基板的同時用處 理液或氣體等流體進(jìn)行處理的基板的處理裝置。背景技術(shù)在用于液晶顯示裝置的玻璃基板上形成電路圖案，采用光刻工藝在 基板上形成電路圖案。眾所周知，光刻工藝是在上述基板上涂敷抗蝕劑， 對該抗蝕劑隔著形成有電路圖案的掩膜照射光。接著，除去抗蝕劑的沒照射光的部分或照射了光的部分，對基板的 除去了抗蝕劑的部分進(jìn)行蝕刻。并且，通過重復(fù)多次蝕刻后除去抗蝕劑 的一連串的工序，在上述基板上形成電路圖案。在這樣的光刻工藝...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。