技術(shù)編號(hào)：2728974
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種光刻膠組合物。 背景技術(shù)用于采用光刻工藝的半導(dǎo)體微制造的光刻膠組合物包含樹脂，其具有衍生自具 有酸不穩(wěn)定基團(tuán)的化合物的結(jié)構(gòu)單元，且不溶于或難溶于堿水溶液中但通過酸的作用變得 可溶于堿水溶液中；產(chǎn)酸劑，其包含通過輻射產(chǎn)生酸的化合物；以及堿性化合物。美國(guó)專利5，914，219公開了一種光刻膠組合物，其包含樹脂，其具有衍生自具有 酸不穩(wěn)定基團(tuán)的化合物的結(jié)構(gòu)單元，且不溶于或難溶于堿水溶液中但通過酸的作用變得可 溶于堿水溶液中；產(chǎn)酸劑，其包含通過輻射產(chǎn)...
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