技術編號:2725972
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明是關于感光性樹脂組合物、感光性元件、光致抗蝕圖形的形成方法 及印刷電路板的制造方法。 背景技術在印刷電路板、等離子顯示器用電路板、液晶顯示器用電路板、大規(guī)模集 成電路、薄型晶體管、半導體封裝等的微細電子回路,一4殳而言是經(jīng)由所謂的 光學蝕刻法(光微影術)形成光致抗蝕圖形的工序而制造。光學蝕刻法為例如 依下述作法于基板上形成導體圖形,首先在設置于基板上的感光層上,通過具 有規(guī)定圖形的光掩模膜照射紫外線等光進行曝光,然后通過曝光部與非曝光部 的溶解度不同...
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