技術(shù)編號：2724652
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及用于半導(dǎo)體的微細加工、液晶、熱敏頭等的電路基板的制造以及制造 在其他的照相化學(xué)腐蝕工序中所用的抗蝕圖案的化學(xué)放大型光致抗蝕劑組合物(以下有 時簡稱為“抗蝕劑組合物”)。另外，本發(fā)明還涉及使用上述光致抗蝕劑組合物的抗蝕圖案 的制造方法。背景技術(shù)半導(dǎo)體的微細加工中，抗蝕圖案是利用如下的方法制造的，S卩，包括(1)將抗蝕 劑組合物涂布于基體上，除去溶劑而得到抗蝕膜的工序；(2)對抗蝕膜進行預(yù)烘烤的工序；將預(yù)烘烤過的抗蝕膜曝光的工序；(4)對曝光過的抗蝕...
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