技術(shù)編號(hào)：2720203
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型提供一種玻璃鈍化器件光刻機(jī)的自動(dòng)對(duì)位裝置，包括光刻機(jī)模板和光源，所述光刻機(jī)模板，模板的一次相模對(duì)應(yīng)點(diǎn)，設(shè)置為二個(gè)正方形對(duì)應(yīng)點(diǎn)，二次相模對(duì)應(yīng)點(diǎn)右移一位后設(shè)置為小圓點(diǎn)對(duì)應(yīng)點(diǎn)，三次相模對(duì)應(yīng)點(diǎn)，設(shè)置為小圓點(diǎn)對(duì)應(yīng)點(diǎn)；所述光源，設(shè)置為同軸的二個(gè)紅外光源，即在中心光源的外圍，有輔助光源。具有提高了對(duì)位精度，又大大提高了生產(chǎn)效率，通用性好的優(yōu)點(diǎn)。專利說(shuō)明 [0001] 本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體玻璃鈍化器件光刻。 一種玻璃鈍化器件光刻機(jī)的自動(dòng)對(duì)位裝置 背景技術(shù)...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。