技術(shù)編號(hào)：2716359
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開了，在精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)X方向走位的同時(shí)，曝光圖形在SLM空間光調(diào)制器高度方向上做等像素平移顯示，當(dāng)平臺(tái)移動(dòng)距離等于SLM空間光調(diào)制器件像素成像平移量時(shí)發(fā)出曝光信號(hào)實(shí)現(xiàn)圖形與位置的同步曝光。一行曝光完畢后SLM空間光調(diào)制器件寬度方向上圖像做設(shè)定像素的平移顯示，同時(shí)精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)Y向偏移對(duì)應(yīng)設(shè)定像素成像距離，實(shí)現(xiàn)高度與寬度方向上兩維疊加曝光。本發(fā)明疊加曝光方法手段靈活，要獲得不同的曝光疊加次數(shù)只需更改X方向顯示平移量與Y方向疊加次數(shù)即可；可方便的實(shí)現(xiàn)對(duì)曝光...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。