技術(shù)編號(hào):2715489
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供一種小型化Y波導(dǎo)尾纖的制備方法,包括將硅晶圓劃切成陣列;將硅塊陣列端面磨斜成15度角;對(duì)硅塊陣列進(jìn)行清洗;裝夾硅塊陣列并進(jìn)行調(diào)平處理;光纖處理;光纖的裝卡和定軸;光纖入槽;曝光粘接;光纖頭切割;光纖陣列裝夾;光纖陣列磨拋;光纖陣列劃切;及單個(gè)硅塊處理。本發(fā)明的方法能夠?qū)崿F(xiàn)小尺寸(1.8(長(zhǎng))×1.3(寬)×1.5(高)mm)Y波導(dǎo)尾纖的制備,進(jìn)而減小Y波導(dǎo)器件體積,并且該工藝技術(shù)適用于批量生產(chǎn),一次可以同時(shí)磨拋10排(210根)尾纖,能夠?qū)崿F(xiàn)較高...
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