技術(shù)編號：2715441
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供了一種光致抗蝕劑組合物，所述光致抗蝕劑組合物包含具有酸不穩(wěn)定基團(tuán)的樹脂；酸生成劑；具有硫醚鍵和巰基的化合物；和溶劑。專利說明光致抗蝕劑組合物[0001] 本申請要求在2013年9月24日在日本提交的基于35U.S.C. § 119(a)的專利申 請2013-196744的優(yōu)先權(quán)，所述專利申請的全部內(nèi)容通過引用結(jié)合在此。 [0002] 本發(fā)明涉及光致抗蝕劑組合物和用于制備光致抗蝕劑圖案的方法。 背景技術(shù) [0003] 在通過半導(dǎo)體芯片用薄...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。