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用于周期性光刻圖形尺寸監(jiān)控的方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2711622

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本發(fā)明公開(kāi)了一種,包括如下步驟S1調(diào)整自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的灰階參數(shù),對(duì)曝光顯影后的晶圓的膠柱進(jìn)行灰度測(cè)試,通過(guò)將膠柱表面反射回來(lái)的光進(jìn)行灰階運(yùn)算得到灰度值;S2對(duì)所述的膠柱進(jìn)行尺寸測(cè)量得到尺寸值;S3建立灰度值與尺寸值間的對(duì)應(yīng)關(guān)系;S4逐片進(jìn)行掃描曝光顯影后的晶圓;S5將膠柱的灰度值實(shí)時(shí)通過(guò)對(duì)應(yīng)關(guān)系輸出為尺寸值。由于采用了以上技術(shù)方案,使得在藍(lán)寶石圖形化襯底領(lǐng)域可以將黃光蝕刻步驟后的檢測(cè)步驟得以簡(jiǎn)化,提高了生產(chǎn)效率,降低了生產(chǎn)成本。專利說(shuō)明[0001]本發(fā)明...
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