技術(shù)編號(hào):2710078
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供一種。檢查裝置具備接觸位置取得部和檢查狀態(tài)判定部。上述接觸位置取得部使用保持對(duì)象的檢查面上的粒子有無(wú)的檢查結(jié)果和靜電吸盤(pán)保持機(jī)構(gòu)的凸部分的坐標(biāo)信息,取得上述凸部分對(duì)上述檢查面的接觸位置。上述檢查狀態(tài)判定部針對(duì)在上述檢查面的與上述凸部分的接觸區(qū)域附著的粒子的尺寸,使用第1判斷基準(zhǔn)值來(lái)判定是否在容許范圍內(nèi),針對(duì)在上述檢查面的與上述凸部分的非接觸區(qū)域附著的粒子的尺寸,使用比上述第1判斷基準(zhǔn)值大的第2判斷基準(zhǔn)值來(lái)判定是否在容許范圍內(nèi)。專(zhuān)利說(shuō)明 [0...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專(zhuān)利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專(zhuān)利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
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