技術編號：2707556
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型提供基板顯影處理裝置包括一基座；滾輪組，安裝于基座上，所述滾輪組由復數(shù)個互相平行并且沿水平方向一字排列的滾輪組成；滾輪組驅(qū)動裝置，所述滾輪組驅(qū)動裝置驅(qū)動所述滾輪組的滾輪轉(zhuǎn)動；擋塊，位于滾輪組兩端的擋塊,所述擋塊下方設置有擋塊升降機構(gòu)；基板位置傳感器?；逶陲@影過程中被放置于滾輪組上，通過滾輪驅(qū)動裝置驅(qū)動滾輪不停正轉(zhuǎn)反轉(zhuǎn)使位于滾輪組上的基板沿水平方向晃動，通過晃動可以使基板表面的顯影液的分布更加均勻。專利說明基板顯影處理裝置[0001]本實用新型涉...
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