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一種鈮酸鋰光調(diào)制器及其制備與封裝方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2703805

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,使用氫化非晶硅在鈮酸鋰基底上制備波導(dǎo)結(jié)構(gòu),利用非晶硅的高折射率可以有效減小波導(dǎo)尺寸,從而減小鈮酸鋰光調(diào)制器上金屬電極之間的間距,進(jìn)而使得所需調(diào)制電壓低。優(yōu)選使用氫化非晶硅制作波導(dǎo)芯片,其SiH鏈的存在能夠減小光學(xué)損耗??梢酝ㄟ^(guò)調(diào)節(jié)氫化非晶硅的厚度在保證波導(dǎo)尺寸的前提下最大化器件的光電效應(yīng)。通過(guò)控制二氧化硅的厚度以及金屬電極的厚度,能夠保證較好的射頻匹配,而與外界連接的光纖接口通過(guò)在穿過(guò)波導(dǎo)層的波導(dǎo)線實(shí)現(xiàn),由于上述波導(dǎo)線都在波導(dǎo)層,能夠留足封裝或測(cè)試的金屬...
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