技術(shù)編號(hào):2703230
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開了一種納米壓印對(duì)準(zhǔn)裝置,包括視覺觀察機(jī)構(gòu),其還包括分別用于固定被測(cè)物的第一、第二平臺(tái),其設(shè)置于上述視覺觀察機(jī)構(gòu)下方,第一平臺(tái)安裝于一平臺(tái)座上,第二平臺(tái)連接一球軸機(jī)構(gòu)、通過該球軸機(jī)構(gòu)進(jìn)行多方向多角度的擺動(dòng);該球軸機(jī)構(gòu)的下方還設(shè)置有用于驅(qū)動(dòng)上述第二平臺(tái)多個(gè)方向運(yùn)動(dòng)的多個(gè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。本發(fā)明的裝置相比于現(xiàn)有技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)模板與基片更好地緊密擠壓和固定,從而更優(yōu)地實(shí)現(xiàn)對(duì)微納圖案的重復(fù)有序壓印。專利說明納米壓印對(duì)準(zhǔn)裝置[0001]本發(fā)明涉及一種對(duì)準(zhǔn)裝置,特別涉及...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。