技術(shù)編號：2701452
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供一種TFT陣列基板及其制造方法，該TFT陣列基板形成于底板底板上，其包括掃描線、數(shù)據(jù)線、像素電極、TFT單元、以及有源層，所述TFT單元包括與掃描線連接的柵極、與數(shù)據(jù)線電性連接源極、以及與像素電極連接的漏極，所述有源層由IGZO制成的，所述像素電極、源極、和漏極均由離子注入工藝將裸露的IGZO層成為具有導(dǎo)電特性的導(dǎo)體而形成，且所述像素電極、源極、和漏極、有源層均位于TFT陣列基板的底層。本發(fā)明屬于自對齊頂柵結(jié)構(gòu)的TFT,通過使用IGZO的材料使本...
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