技術(shù)編號(hào):2701327
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供一種形成膜層的方法和基板,屬于膜層制備,其可解決現(xiàn)有的形成膜層方法易出現(xiàn)膜層不良的問(wèn)題。本發(fā)明的形成膜層的方法包括在基板上形成第一層膜;對(duì)所述第一層膜進(jìn)行第一次清洗;在所述第一層膜上形成第二層膜,所述第二層膜的材料與第一層膜的材料相同;對(duì)所述第二層膜進(jìn)行第二次清洗。本發(fā)明的基板包括由上述形成膜層的方法制得的膜層。本發(fā)明可用于提升膜層品質(zhì)。專利說(shuō)明一種形成膜層的方法和基板[0001]本發(fā)明屬于膜層制備,具體涉及一種形成膜層的方法和包括由所述形成膜層...
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