亚洲成年人黄色一级片,日本香港三级亚洲三级,黄色成人小视频,国产青草视频,国产一区二区久久精品,91在线免费公开视频,成年轻人网站色直接看

Soi基波導(dǎo)耦合器及其制備方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2699562

提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。

本發(fā)明提供一種SOI基波導(dǎo)耦合器及其制備方法,包括以下步驟提供一SOI襯底,在所述SOI襯底的頂層硅上形成第一氧化層;在所述第一氧化層上形成第一窗口;自該第一窗口外延生長(zhǎng)形成硅島;在所述硅島外形成第二氧化層;在所述硅島上表面的部分第二氧化層上形成第二窗口;濕法腐蝕,在所述第二窗口下的硅島處形成傾斜角為0.5°-4°的斜面,再去除剩余的第二氧化層;套準(zhǔn)光刻后構(gòu)圖,形成垂直和水平方向尺寸分別線性減小的耦合器。本發(fā)明利用硅外延生長(zhǎng)、各向異性溶液腐蝕等硅微機(jī)械加工...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

詳細(xì)技術(shù)文檔下載地址↓↓

提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。
該分類下的技術(shù)專家--如需求助專家,請(qǐng)聯(lián)系客服
  • 孫老師:1.機(jī)機(jī)器人技術(shù) 2.機(jī)器視覺(jué) 3.網(wǎng)絡(luò)控制系統(tǒng)
  • 楊老師:物理電子學(xué)