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曝光裝置、曝光方法、元件制造方法、程序及記錄媒體的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2698479

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本發(fā)明的曝光裝置是通過(guò)液體以曝光用光使基板曝光。曝光裝置,具備具有曝光用光射出的射出面的光學(xué)構(gòu)件、包含將基板的下面以可釋放的方式加以保持的第1保持部以及用以規(guī)定可配置基板的開(kāi)口且具有在基板被保持于第1保持部保持的狀態(tài)下配置在基板上面周圍的上面的第1構(gòu)件的基板保持裝置、以及至少一部分配置在基板與第1構(gòu)件間的間隙且具有對(duì)液體為撥液性的上面的多孔構(gòu)件。曝光裝置通過(guò)多孔構(gòu)件回收流入間隙的液體的至少一部分。專利說(shuō)明曝光裝置、曝光方法、元件制造方法、程序及記錄媒體[0...
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