技術編號:2698363
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及含有通式(1)或(2)所示的化合物的抗蝕劑組合物,使用其的抗蝕圖案形成方法,用于其的多元酚化合物以及由其衍生而得到的醇化合物。(通式(1)以及(2)中,R1分別獨立地為單鍵、或碳數1~30的2n價烴基,該烴基也可以具有環(huán)式烴基、雙鍵、雜原子或者碳數6~30的芳香族基團,R2分別獨立地為氫原子、鹵素原子、碳數1~10的直鏈狀、支鏈狀或者環(huán)狀的烷基、碳數6~10的芳基、碳數2~10的鏈烯基或羥基,在同一萘環(huán)中R2可以相同也可以不同,R2的至少1個為羥...
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